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型號：真空型吸氣劑
真空型吸氣劑
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品介紹
薄膜吸氣劑是在真空封裝的器件內(nèi)部區(qū)域制作一層吸氣劑薄膜，吸氣劑薄膜的厚度2-2.1um，不占用器件的內(nèi)部空間，可以有效減小真空器件的尺寸。
產(chǎn)品分類
按薄膜合金分類:我們目前擁有三種吸氣劑合金可以制備成薄膜吸氣劑，目前命名為 B100、B200、B300:按激活溫度分類；B100、B200、B300對應(yīng)的激活溫度分別為 300度、180度、350度:按制作基底分類:可以制作在晶圓、可伐蓋板不銹鋼、陶瓷殼體、陶瓷基座。
應(yīng)用環(huán)境
微小真空器件維持真空，這類器件的特點:內(nèi)部沒有剩余空間，希望在器件的殼體內(nèi)壁，或封蓋，或基座制作薄膜吸氣劑起到維持真空的作用，同時又不增加器件體積。
典型器件
電容陀螺儀、角速度計、壓力傳感器、芯片級原子鐘、激光陀螺儀等這類具有 3D 空間，又需要真空環(huán)境的 MEMS 微型器件。
